[发明专利]柔性透明电磁屏蔽膜及制备方法在审
| 申请号： | 201910399811.6 | 申请日： | 2019-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN110042359A | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 王鲁南;窦立峰 | 申请（专利权）人： | 南京汇金锦元光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/10;C23C14/08;C23C14/35;H05K9/00 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 王清义 |
| 地址： | 210046 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种柔性透明电磁屏蔽膜制备方法，以柔性有机透明材料为基材，采用柔性、卷绕式、连续型有机基材磁控溅射镀膜技术在有机透明基材上下两面一次性镀膜制成的柔性透明电磁屏蔽膜；它使用在一个真空镀膜腔内的多个磁控溅射装置，各磁控溅射装置包括以惰性气体氩气作为工作气体、以氧气为反应气体的沉积阴极室、位于沉积阴极室内的阴极靶材，连续移动的柔性有机透明基材依次通过各磁控溅射装置的沉积阴极室，通过各磁控溅射装置的溅射，并控制通入各沉积阴极室的氧气和惰性气体的流量，使得阴极靶材氧化物一次性沉积在柔性有机透明基材的上下表面。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控溅射装置 沉积 电磁屏蔽膜 透明基材 阴极室 阴极靶材 透明 制备 氧气 磁控溅射镀膜 惰性气体氩气 有机透明材料 阴极 一次性沉积 真空镀膜腔 惰性气体 反应气体 工作气体 连续移动 上下表面 有机基材 卷绕式 连续型 一次性 氧化物 镀膜 基材 溅射 室内 | ||
【主权项】：
1.柔性透明电磁屏蔽膜制备方法，它使用在一个真空镀膜腔内的多个磁控溅射装置，各磁控溅射装置包括以惰性气体氩气作为工作气体、以氧气为反应气体的沉积阴极室、位于沉积阴极室内的阴极靶材，其特征是，连续移动的柔性有机透明基材依次通过各磁控溅射装置的沉积阴极室，通过各磁控溅射装置的溅射，并控制通入各沉积阴极室的氧气和惰性气体的流量，使得阴极靶材氧化物一次性沉积在柔性有机透明基材的上下表面；在真空镀膜腔内设置有用于避免阴极靶材氧化物沉积残渣掉落于柔性有机透明基材上而对沉积质量产生影响的防污装置。
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