[发明专利]衍射光学元件的性能检测系统、方法和装置在审
| 申请号： | 201910399991.8 | 申请日： | 2019-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN109974978A | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 钱林峰;刘文迪;黄浩滨;叶小伟;沈科良 | 申请（专利权）人： | 浙江舜宇光学有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 韩建伟 |
| 地址： | 315499 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请提供了一种衍射光学元件的性能检测系统、方法和装置，该系统包括：光发射器件，光发射器件用于发射预定光至衍射光学元件中；接收设备，包括接收屏，接收屏位于光发射器件的一侧，预定光经过衍射光学元件衍射后在接收屏上形成多个光斑点；图像处理装置，位于接收屏的远离光发射器件的一侧，图像处理装置用于获取接收屏上的多个光斑点的图像，并根据图像计算衍射光学元件的衍射效率、衍射均匀性以及视场角中的至少一个。该系统根据获取的图像计算衍射光学元件的至少一项性能参数，从而实现对衍射光学元件的性能的检测。 | ||
| 搜索关键词： | 衍射光学元件 接收屏 光发射器件 图像处理装置 性能检测系统 方法和装置 光斑 图像计算 衍射 接收设备 性能参数 衍射效率 均匀性 视场角 图像 发射 检测 申请 | ||
【主权项】：
1.一种衍射光学元件的性能检测系统，其特征在于，包括：光发射器件(4)，所述光发射器件(4)用于发射预定光至所述衍射光学元件中；接收设备(2)，包括接收屏(21)，所述接收屏(21)位于所述光发射器件(4)的一侧，所述预定光经过所述衍射光学元件衍射后在所述接收屏(21)上形成多个光斑点；图像处理装置(1)，位于所述接收屏(21)的远离所述光发射器件(4)的一侧，所述图像处理装置(1)用于获取所述接收屏(21)上的多个光斑点的图像，并根据所述图像计算所述衍射光学元件的衍射效率、衍射均匀性以及视场角中的至少一个。
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