[发明专利]柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引方法

摘要

本发明涉及真空镀膜领域，提供一种柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引方法，采用高低真空腔真空度隔离装置，利用高低真空度压力差将需要沉积镀膜的柔性超薄基带与柔性辅助基带贴合形成抗拉强度较好的复合基带，为柔性超薄基带提供移动载体，防止柔性超薄基带变形，可广泛应用于连续柔性薄膜显示器、薄膜太阳能电池、柔性调光窗膜、柔性电磁屏蔽膜等的生产制造中。

主权项

1.柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引方法，它具有一个由隔板分隔而成放卷腔、镀膜腔、收卷腔的腔体，以惰性气体为工作气体，放卷腔内的放卷台连续分别释放柔性超薄基带和柔性辅助基带，镀膜腔内的冷鼓为牵引主动轮驱动由柔性超薄基带和柔性辅助基带贴合而成的复合基带连续移动，收卷腔内的收卷台连续分别对成膜和柔性辅助基带进行收卷；柔性辅助基带与冷鼓紧密贴合，复合基带移动设置在冷鼓和环绕冷鼓设置的磁控溅射装置沉积阴极室之间，其特征是，放卷腔真空度和收卷腔真空度高于镀膜腔真空度；在隔板上开设有用于使复合基带由放卷腔穿行至镀膜腔、使柔性辅助基带和在柔性辅助基带上贴合有成膜的复合膜带由镀膜腔穿行至收卷腔的穿行窗口；在穿行窗口上设置有高低真空腔真空度隔离装置，在穿行窗口和放卷台之间转动设置有用于排除柔性辅助基带、柔性超薄基带之间尚存气体、使柔性辅助基带、柔性超薄基带紧密贴合为复合基带的基带复合挤压辊，在穿行窗口和收卷台之间转动设置有用于辅助复合膜带分离为柔性辅助基带和成膜的膜材分离辅助辊；它还包括设置在放卷台和穿行窗口之间用于调节放卷速度的放卷调节装置，设置在穿行窗口和收卷台之间用于调节成膜收卷速度的收卷调节装置。