[发明专利]一种飞秒激光加工金刚石微槽截面形状的调控方法在审
| 申请号： | 201910400836.3 | 申请日： | 2019-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN110202266A | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 姜海涛;崔健磊;孙大智;豆剑;殷东平;梅雪松;王文君 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第三十八研究所 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/364 |
| 代理公司： | 合肥昊晟德专利代理事务所(普通合伙) 34153 | 代理人： | 王林 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种飞秒激光加工金刚石微槽截面形状的调控方法，包括步骤，对金刚石表面进行清洗；搭建光路；设置飞秒激光器的输出激光的激光参数；将所述金刚石固定在移动载物台的加工工位上；调节所述光路中的飞秒激光参数，并进行微槽加工；加工后处理；通过先宽度方向进给再深度方向进给的激光加工行程方式进行近矩形截面微槽的加工；本发明可以获得飞秒激光加工高深宽比的近矩形截面微槽的工艺流程以及工艺参数，从而可以加工符合要求的微流道，为集成度很高的电子芯片的大幅度散热提供了保障。 | ||
| 搜索关键词： | 微槽 飞秒激光加工 金刚石 截面形状 矩形截面 加工 光路 进给 飞秒激光参数 飞秒激光器 金刚石表面 移动载物台 后处理 电子芯片 高深宽比 激光参数 激光加工 加工工位 输出激光 行程方式 工艺流程 集成度 微流道 调控 散热 清洗 | ||
【主权项】：
1.一种飞秒激光加工金刚石微槽截面形状的调控方法，其特征在于，包括步骤：S1，对金刚石表面进行清洗；S2，搭建光路；S3,设置飞秒激光器输出激光的激光参数；S4，将所述金刚石固定在移动载物台的加工工位上；S5，调节所述光路中的飞秒激光参数，并进行微槽加工；S6，加工后处理；在所述步骤S5中，通过先宽度方向进给再深度方向进给的激光加工行程方式进行近矩形截面微槽的加工。
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