[发明专利]二维耦合的射频压电谐振器及其制备方法在审
| 申请号： | 201910401358.8 | 申请日： | 2019-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN110166012A | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 刘康福;吴涛 | 申请（专利权）人： | 上海科技大学 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/13;H03H9/17 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 翁若莹;王文颖 |
| 地址： | 200120 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种二维耦合的射频压电谐振器及其制备方法。所述射频压电谐振器包括用于固定叉指电极的压电层，压电层固定于硅衬底上；叉指电极的上电极、下电极分别固定于压电层的上下两侧，横截面上位于连续压电层上的叉指电极为一个谐振单元，压电层上设有至少一个谐振单元。制备方法为：在硅衬底上生长出牺牲层，或直接将硅衬底的上层作为牺牲层；将下电极镀在牺牲层表面；在下电极表面生长压电层；在压电层上表面对准下电极镀上电极；刻蚀出谐振单元；将下电极底部的牺牲层刻蚀，使压电层的下电极处与其下方的硅衬底之间形成空腔。本发明的机电耦合系数提高至7％‑11％。 | ||
| 搜索关键词： | 压电层 下电极 硅衬底 牺牲层 压电谐振器 谐振单元 电极 射频 制备 二维耦合 刻蚀 机电耦合系数 叉指电极 电极表面 上下两侧 生长 固定叉 上表面 叉指 空腔 对准 上层 | ||
【主权项】：
1.一种二维耦合的射频压电谐振器，其特征在于，包括用于固定叉指电极的压电层(12)，压电层(12)固定于硅衬底(14)上；叉指电极用于驱动谐振器使其发生谐振，叉指电极的上电极(11b)、下电极(11a)分别固定于压电层(12)的上下两侧，横截面上位于连续压电层(12)上的叉指电极为一个谐振单元，压电层(12)上设有至少一个谐振单元，每个谐振单元包括2n+1对叉指电极，其中，n为自然数。
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