[发明专利]带电粒子束描绘装置及带电粒子束描绘方法有效
| 申请号： | 201910401907.1 | 申请日： | 2019-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN110501881B | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 野村春之;上久保贵司 | 申请（专利权）人： | 纽富来科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的实施方式涉及带电粒子束描绘装置及带电粒子束描绘方法。带电粒子束描绘装置具备：描绘室，容纳载置描绘对象物的台；束照射部，向载置在上述台上的上述描绘对象物照射带电粒子束；台驱动部，使上述台移动；温度分布计算部，基于上述台的移动履历信息，计算由上述描绘室内的热源带来的上述描绘对象物的温度分布；变形量计算部，基于载置在上述台上的上述描绘对象物的约束条件和计算出的上述温度分布，计算上述描绘对象物的变形量；以及位置修正部，基于计算出的上述变形量，将向上述描绘对象物的带电粒子束的照射位置修正。上述束照射部基于由上述位置修正部修正后的照射位置照射上述带电粒子束。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 描绘 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种带电粒子束描绘装置，其特征在于，/n具备：/n描绘室，容纳载置描绘对象物的台；/n束照射部，向载置在上述台上的上述描绘对象物照射带电粒子束；/n台驱动部，使上述台移动；/n温度分布计算部，基于上述台的移动履历信息，计算由上述描绘室内的热源带来的上述描绘对象物的温度分布；/n变形量计算部，基于载置在上述台上的上述描绘对象物的约束条件和计算出的上述温度分布，计算上述描绘对象物的变形量；以及/n位置修正部，基于计算出的上述变形量，将带电粒子束向上述描绘对象物的照射位置修正；/n上述束照射部基于由上述位置修正部修正后的照射位置照射上述带电粒子束。/n
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