[发明专利]大面积多喷头喷涂设备在审
| 申请号： | 201910403042.2 | 申请日： | 2019-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN110038754A | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 王云翔;冒薇;段仲伟;马冬月;许爱玲;李晓帅;祝翠梅;姚园 | 申请（专利权）人： | 苏州美图半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | B05B13/02 | 分类号： | B05B13/02;B05B13/04;B05B15/68 |
| 代理公司： | 南京思拓知识产权代理事务所(普通合伙) 32288 | 代理人： | 苗建 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种喷涂设备，尤其是一种大面积多喷头喷涂设备，属于喷涂设备的技术领域。按照本发明提供的技术方案，所述大面积多喷头喷涂设备，包括喷涂腔室以及设置于所述喷涂腔室内的工作面板；还包括位于工作面板上的真空吸盘、设置于所述喷头腔室内的喷头固定板以及若干设置于所述喷头固定板上的喷头，喷头在喷头固定板上呈直线排列，喷头固定板位于工作面板上方，喷头固定板与用于驱动所述喷头固定板运动的运动驱动机构连接；本发明能提高喷涂效率以及喷涂的均匀性，使用方便，安全可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 喷头固定板 喷涂设备 工作面板 多喷头 喷头 喷涂腔 运动驱动机构 室内 喷涂效率 真空吸盘 直线排列 均匀性 喷头腔 喷涂 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种大面积多喷头喷涂设备，包括喷涂腔室（1）以及设置于所述喷涂腔室（1）内的工作面板（15）；其特征是：还包括位于工作面板（15）上的真空吸盘（23）、设置于所述喷头腔室（1）内的喷头固定板（20）以及若干设置于所述喷头固定板（20）上的喷头，喷头在喷头固定板（20）上呈直线排列，喷头固定板（20）位于工作面板（15）上方，喷头固定板（20）与用于驱动所述喷头固定板（20）运动的运动驱动机构连接；通过运动驱动机构使得喷头固定板（20）上的喷头位于真空吸盘（23）上样品（31）的喷涂范围时，喷头固定板（20）上的喷头按进入样品（31）喷涂范围的顺序依次打开；通过运动驱动机构驱动喷头对样品（31）进行运动喷射时，每个喷头对样品（31）喷射的运动路径包括若干与喷头间排列长度方向垂直的第一喷射路径以及若干与喷头间排列长度方向一致的第二喷射路径，第一喷射路径与第二喷射路径依次连接；喷头移出样品（31）的喷射范围时，喷头固定板（21）上的喷头脱离样品（31）喷射范围的顺序依次关闭。
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