[发明专利]一种激光定域辐照加热装置在审
| 申请号： | 201910404221.8 | 申请日： | 2019-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN110068587A | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 邓平晔;邹涛;杨颖;汪雨 | 申请（专利权）人： | 北京市理化分析测试中心;亘弘（北京）光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/22 | 分类号： | G01N23/22;G01N23/2202;H01J37/20;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人： | 陈娟 |
| 地址： | 100089 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光定域辐照加热装置，其基于扫描电镜预留法兰接口设置，包括设置于扫描电镜真空腔体外部的光纤激光器、设置于真空腔体内的用于对光纤激光器输出的激光线路调整的光路调整装置、用于将激光聚焦至被测工件特定区域的激光聚焦镜，光路调整装置包括支架、下反射镜、上反射镜。通过该装置可实现样品表面的微小局部加热，一方面避免了整体加热导致的真空腔内所有物体包括元件温度随之全部升高，影像设备寿命，另一方面通过该装置可实现时时研究物质在非平衡情况下的动态变化，实现高温下物质结构动态变化的在线电子显微镜观察，从而为材料科学研究提供新的技术手段。 | ||
| 搜索关键词： | 光路调整装置 光纤激光器 辐照 动态变化 加热装置 扫描电镜 真空腔 激光 电子显微镜观察 预留法兰接口 真空腔体外部 激光聚焦镜 被测工件 激光聚焦 激光线路 技术手段 局部加热 上反射镜 物质结构 下反射镜 样品表面 影像设备 整体加热 材料科学 非平衡 支架 升高 体内 输出 研究 | ||
【主权项】：
1.一种激光定域辐照加热装置，其特征在于，所述激光定域辐照加热装置基于扫描电镜预留法兰接口设置，包括设置于扫描电镜真空腔体外部的光纤激光器、设置于真空腔体内的用于对光纤激光器输出的激光线路进行调整的光路调整装置、用于将激光聚焦至被测工件特定区域的激光聚焦镜，其中，所述光路调整装置包括支架、设置于支架上的且对应激光入射方向设置的下反射镜、设置于支架上的且对应下反射镜激光反射方向设置的上反射镜，上反射镜反射后激光投射到激光聚焦镜上。
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