[发明专利]感光性树脂组合物、感光性干膜和图案形成方法

摘要

本发明为感光性树脂组合物、感光性干膜和图案形成方法。将包含(A)含硅亚苯基和聚醚结构的聚合物和(B)光致产酸剂的感光性树脂组合物涂布至基底上以形成具有改进的对基底的粘合性、图案形成能力、耐开裂性和作为保护膜的可靠性的感光性树脂涂层。

主权项

1.感光性树脂组合物，其包含(A)包含具有下式(1)至(4)的重复单元的含硅亚苯基和聚醚结构的聚合物，和(B)光致产酸剂，/n /n其中，X¹为具有下式(X1)的二价基团，X²为具有下式(X2)的二价基团，X³为具有下式(X3)的二价基团，X⁴为具有下式(X4)的二价基团，以及p、q、r和s为在以下范围内的数：0<p<1、0≤q<1、0≤r<1、0≤s<1、0<q+r+s<1和p+q+r+s＝1，/n /n其中，R¹和R²各自独立地为氢或C₁-C₈一价烃基，R³和R⁴各自独立地为氢或甲基，a¹和a²各自独立地为1至6的整数，和n为0至100的整数，/n /n其中，Y¹为单键、亚甲基、丙烷-2,2-二基、1,1,1,3,3,3-六氟丙烷-2,2-二基或芴-9,9-二基，R¹¹和R¹²各自独立地为氢或甲基，R¹³和R¹⁴各自独立地为C₁-C₄烷基或烷氧基，b¹和b²各自独立地为0至7的整数，以及c¹和c²各自独立地为0至2的整数，/n /n其中，Y²为单键、亚甲基、丙烷-2,2-二基、1,1,1,3,3,3-六氟丙烷-2,2-二基或芴-9,9-二基，R²¹和R²²各自独立地为氢或甲基，R²³和R²⁴各自独立地为C₁-C₄烷基或烷氧基，d¹和d²各自独立地为0至7的整数，以及e¹和e²各自独立地为0至2的整数，/n /n其中，R³¹和R³²各自独立地为氢或甲基，以及f¹和f²各自独立地为0至7的整数。/n