[发明专利]立式晶棒激光干涉检测设备

摘要

本发明提供了一种立式激光干涉检测设备，用于对待测晶棒的端面面形精度和内部材质均匀性进行检测，包括：设备主体；参考平面镜承载装置；以及待测晶棒承载装置，其中，参考平面镜承载装置包含平面镜承载部以及微位移部，微位移含有对应布置的固定板和移动板、用于连接固定臂和移动板的至少两个弹性连接件、以及用于驱动移动板相对于固定板进行微小的位置移动的至少一个压电陶瓷封装驱动件，压电陶瓷封装驱动件具有两个端盖以及用于使该两个端盖相对移动的压电陶瓷圈，待测晶棒承载装置包含旋转支撑座、可转动地安装在该旋转支撑座上的旋转盘、以及安装在该旋转盘上的晶棒承托台、晶棒夹持部和反光镜安装座。

主权项

1.一种立式晶棒激光干涉检测设备，用于对待测晶棒的端面面形精度和内部材质均匀性进行检测，其特征在于，包括：设备主体，具有准直透镜以及反光镜；参考平面镜承载装置，位于所述准直透镜的正下方并且与该准直透镜同光轴设置，用于承载参考平面镜；以及待测晶棒承载装置，位于所述参考平面镜承载装置的下方，用于承载所述待测晶棒，其中，所述参考平面镜承载装置包含平面镜承载部以及用于驱动该平面镜承载部沿光轴方向进行微小位置移动的微位移部，所述平面镜承载部含有承载盘安装座以及安装在该承载盘安装座上用于放置参考平面镜的承载盘，所述微位移部含有对应布置的固定板和移动板、用于连接所述固定臂和所述移动板的至少两个弹性连接件、以及用于驱动所述移动板相对于所述固定板进行微小位置移动的至少一个压电陶瓷封装驱动件，所述承载盘安装座安装在所述移动板的外端面，并且所述固定板和所述移动板均设有与所述参考平面镜的形状相匹配用于检测光束穿过的开口部，所述压电陶瓷封装驱动件具有两个端盖以及用于使该两个端盖相对移动的压电陶瓷圈，所述两个端盖分别与所述固定板和所述移动板的内端面相触接，一个所述端盖的内端设有与所述压电陶瓷圈的形状相匹配的凸台，所述压电陶瓷圈位于所述两个端盖之间并套接在所述凸台的外部，所述待测晶棒承载装置包含旋转支撑座、可转动地安装在该旋转支撑座上的旋转盘、以及安装在该旋转盘上的晶棒承托台、晶棒夹持部和反光镜安装座，所述旋转盘含有上下布置的上旋转盘和下旋转盘，所述上旋转盘设有沿该上旋转盘的周向间隔布置的承托台安装槽和光路通孔，所述晶棒承托台的下端安装在所述承托台安装槽内，上端用于放置所述待测晶棒，所述晶棒夹持部含有夹持安装座、固定臂、活动臂、夹爪以及弹性压紧件，所述固定臂活动安装在所述夹持安装座上，所述夹爪具有与所述待测晶棒的形状相匹配的形状，位于所述光路通孔的正上方并且活动安装在所述固定臂的一端，所述活动臂的一端与所述固定臂的另一端可转动地连接，所述弹性压紧件安装在所述活动臂的另一端，用于将所述待测晶棒压紧在所述夹爪上，所述反光镜安装座位于所述光路通孔的正下方并安装在所述下旋转盘的上端面，用于放置所述反光镜，当放置在所述晶棒承托台上的所述待测晶棒完成端面面形精度检测后，所述旋转盘被旋转至使所述反光镜与所述准直透镜同光轴的位置以进行内部材质均匀性检测。