[发明专利]粗糙度测量探针,具有粗糙度测量探针的装置以及相对应的使用有效
申请号: | 201910405831.X | 申请日: | 2019-05-16 |
公开(公告)号: | CN110500971B | 公开(公告)日: | 2022-12-16 |
发明(设计)人: | G·米斯 | 申请(专利权)人: | 科令志因伯格有限公司 |
主分类号: | G01B11/30 | 分类号: | G01B11/30 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 赵培训 |
地址: | 德国许*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种用于扫描表面(F)的粗糙度测量探针(15),其包括起积分作用的装置(20)和光学扫描装置(30),其中所述光学扫描装置(30)直接地布置于所述起积分作用的装置(20)上或中,其中所述起积分作用的装置(20)被设计成在扫描所述表面(F)时在所述粗糙度测量探针(15)与所述表面(F)的较大区域之间预先确定平均距离,并且所述光学扫描装置(30)被设计成在扫描所述表面(F)时以非接触方式光学地扫描所述表面(F)的较小区域,其中所述起积分作用的装置(20)包括光学装置,该光学装置被设计成虚拟滑行件,以使得它在所述表面(F)上使光斑(LF)成像。 | ||
搜索关键词: | 粗糙 测量 探针 具有 装置 以及 相对 使用 | ||
【主权项】:
1.一种用于扫描表面(F)的粗糙度测量探针(15),该粗糙度测量探针(15)包括集成操作装置(20)和光学扫描装置(30),其中所述光学扫描装置(30)直接地布置于所述集成操作装置(20)上或所述集成操作装置(20)中,其中,所述集成操作装置(20)被设计成在扫描所述表面(F)时预先确定在所述粗糙度测量探针(15)与所述表面(F)的较大区域之间的平均距离,并且所述光学扫描装置(30)被设计成以非接触方式光学地扫描所述表面(F)的较小区域,其中所述集成操作装置(20)包括光学装置,该光学装置被设计成虚拟滑行件,以使得该虚拟滑行件在所述表面(F)上产生光斑(LF)。/n
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