[发明专利]粗糙度测量探针，具有粗糙度测量探针的装置以及相对应的使用有效
| 申请号： | 201910405831.X | 申请日： | 2019-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN110500971B | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | G·米斯 | 申请（专利权）人： | 科令志因伯格有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 赵培训 |
| 地址： | 德国许*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于扫描表面(F)的粗糙度测量探针(15)，其包括起积分作用的装置(20)和光学扫描装置(30)，其中所述光学扫描装置(30)直接地布置于所述起积分作用的装置(20)上或中，其中所述起积分作用的装置(20)被设计成在扫描所述表面(F)时在所述粗糙度测量探针(15)与所述表面(F)的较大区域之间预先确定平均距离，并且所述光学扫描装置(30)被设计成在扫描所述表面(F)时以非接触方式光学地扫描所述表面(F)的较小区域，其中所述起积分作用的装置(20)包括光学装置，该光学装置被设计成虚拟滑行件，以使得它在所述表面(F)上使光斑(LF)成像。 | ||
| 搜索关键词： | 粗糙 测量 探针 具有 装置 以及 相对 使用 | ||
【主权项】：
1.一种用于扫描表面(F)的粗糙度测量探针(15)，该粗糙度测量探针(15)包括集成操作装置(20)和光学扫描装置(30)，其中所述光学扫描装置(30)直接地布置于所述集成操作装置(20)上或所述集成操作装置(20)中，其中，所述集成操作装置(20)被设计成在扫描所述表面(F)时预先确定在所述粗糙度测量探针(15)与所述表面(F)的较大区域之间的平均距离，并且所述光学扫描装置(30)被设计成以非接触方式光学地扫描所述表面(F)的较小区域，其中所述集成操作装置(20)包括光学装置，该光学装置被设计成虚拟滑行件，以使得该虚拟滑行件在所述表面(F)上产生光斑(LF)。/n
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