[发明专利]基于视觉传感的原子力显微镜实时漂移补偿系统和方法在审
| 申请号： | 201910405914.9 | 申请日： | 2019-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN110108904A | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 王玉亮;廉兆鑫;鲁通达;曾炳霖 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24;G01Q30/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于视觉传感的原子力显微镜实时漂移补偿系统和方法。系统包括：原子力显微镜、位置可调样品平台、光学显微镜、高速相机和两个微球。所述原子力显微镜置于所述位置可调样品平台上；所述位置可调样品平台置于所述光学显微镜粗调平台上；所述位置可调样品平台上放置观测样品；所述高速相机与光学显微镜相连，配合显微镜物镜采集图像；所述两个微球分别位于样品上表面和原子力显微镜的参考探针上。方法包括：通过对高速相机采集到的微球图像进行处理，计算获得其相对位置，进而得到样品相对于工作探针的漂移。根据漂移计算修正信号附加到原子力显微镜的驱动信号上，以实现漂移的实时补偿。本发明在不附加设备的情况下即可实现漂移在三个方向的测量补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 原子力显微镜 漂移 位置可调 样品平台 光学显微镜 高速相机 漂移补偿 传感 探针 微球 视觉 显微镜物镜 采集图像 测量补偿 附加设备 观测样品 驱动信号 实时补偿 微球图像 修正信号 上表面 粗调 采集 参考 配合 | ||
【主权项】：
1.基于视觉传感的原子力显微镜实时漂移补偿系统，其特征在于：包括原子力显微镜(1)、位置可调样品平台(2)、光学显微镜(3)、高速相机(4)和两个微球(5,6)。所述原子力显微镜(1)置于所述位置可调样品平台(2)上；所述位置可调样品平台(2)置于所述光学显微镜粗调平台(7)上；所述位置可调样品平台(2)上放置观测样品(17)；所述高速相机(4)与光学显微镜(3)相连，配合显微镜物镜(8)采集图像；所述两个微球(5，6)分别位于样品(17)上表面和原子力显微镜(1)的参考探针(15)上。
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