[发明专利]一种基于光杠杆的电磁平衡式力传感器及电子天平在审
申请号: | 201910406330.3 | 申请日: | 2019-05-15 |
公开(公告)号: | CN110207859A | 公开(公告)日: | 2019-09-06 |
发明(设计)人: | 鲍丙豪;吴迪;张会玲;邓晓蓉 | 申请(专利权)人: | 江苏大学 |
主分类号: | G01L1/08 | 分类号: | G01L1/08;G01G7/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 212013 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种基于光杠杆的电磁平衡式力传感器及电子天平,包括光杠杆、PSD元件、电磁线圈和闭环检测系统;所述光杠杆用于产生光束,并将光束反射到PSD元件上;所述PSD元件用于检测光杠杆反射光点的位移;所述PSD元件与闭环检测系统连接,所述闭环检测系统与电磁线圈连接。本发明巧妙地用光杠杆和PSD元件组成的位移检测系统取代现有电子分析天平用于位移检测的光电系统,通过把光杠杆技术及PSD元件与电磁力传感器相融合,进一步提升现有电子分析天平的检测灵敏度。 | ||
搜索关键词: | 光杠杆 闭环检测 电子分析天平 电磁平衡式 电磁线圈 电子天平 力传感器 电磁力传感器 位移检测系统 检测灵敏度 反射光点 光电系统 光束反射 位移检测 系统连接 元件组成 检测光 杠杆 融合 | ||
【主权项】:
1.一种基于光杠杆的电磁平衡式力传感器,其特征在于,包括光杠杆、PSD元件(25)、电磁线圈(11)和闭环检测系统;所述光杠杆用于产生光束,并将光束反射到PSD元件(25)上;所述PSD元件(25)用于检测光杠杆反射光点(26)的位移;所述PSD元件(25)与闭环检测系统连接,所述闭环检测系统与电磁线圈(11)连接。
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