[发明专利]一种基于相位恢复的宽频段波前误差检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 201910406693.7 | 申请日： | 2019-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN110160751B | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 白剑;赵磊;黄潇;周骧东;侯晶 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 贾玉霞;邱启旺 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于相位恢复的宽频段波前误差检测装置及检测方法，其包括依次设置的激光器、减光镜、扩束系统、反射镜一、反射镜二、待测元件、会聚透镜、光阑、透镜一、透镜二、图像传感器，该方法将波前误差在频谱面分为低频和中高频，低频段波前误差使用泽尼克多项式表征，并基于扩展奈波尔‑泽尼克理论求解泽尼克多项式系数，中高频段波前误差使用误差减小算法进行逐像素波前相位恢复。该方法通过迭代的方式自动确定离焦位置，不需精确测量采集衍射光斑图的位置，规避了离焦位置不确定带来的误差。该检测方法对实验环境要求不高，而且检测宽频段大波前误差时精度优于传统的迭代相位恢复方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 相位 恢复 宽频 段波前 误差 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于相位恢复的宽频段波前误差检测装置，其特征在于，该装置包括依次设置的激光器(1)、减光镜(2)、扩束系统、反射镜一(6)、反射镜二(7)、待测元件(8)、会聚透镜(9)、光阑(10)、透镜一(11)、透镜二(12)、图像传感器(13)，所述的激光器(1)与所述的减光镜(2)平行设置，所述的扩束系统位于所述的减光镜(2)平行的方向上，所述的反射镜一(6)倾斜45度位于准直透镜之后，所述的反射镜二(7)倾斜135度位于所述的反射镜一(6)的下方，所述的待测元件(8)与所述的反射镜二(7)共光轴且位于所述的反射镜二(7)的后方，所述的会聚透镜(9)平行位于所述的待测元件(8)之后，所述的光阑(10)平行位于所述的会聚透镜(9)的焦点处，所述的透镜一(11)平行位于所述的光阑(10)之后，所述的透镜一(11)的前焦点位于所述的光阑(10)的小孔处，所述的透镜二(12)平行位于所述的透镜一(11)之后，所述的透镜二(12)与透镜一(11)之间的距离为所述的透镜二(12)与透镜一(11)焦距之和，所述的图像传感器平行位于所述的透镜二(12)之后。
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