[发明专利]通过奇次谐波混合调整离子能量分布函数的系统和方法有效
| 申请号： | 201910406810.X | 申请日： | 2017-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN110246744B | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 陈志刚;阿列克谢·马拉什塔内夫;约翰·帕特里克·霍兰德 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;邱晓敏 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及通过奇次谐波混合调整离子能量分布函数的系统和方法。描述了用于控制应用于等离子体室内的衬底的工艺的系统和方法。所述系统和方法包括产生和供应奇次谐波信号，并且对奇次谐波信号求和以生成相加后的信号。相加后的信号被供应给等离子体室内的电极，以用于处理衬底。使用奇次谐波信号有助于衬底的高深宽比蚀刻。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 谐波 混合 调整 离子 能量 分布 函数 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种射频(RF)发生器，其包括：奇次谐波电源，其被配置为产生n次谐波RF信号，其中n为奇数；耦合到所述奇次谐波电源的阻抗匹配电路，其中所述阻抗匹配电路被配置为在接收到所述n次谐波RF信号时输出n次经修正的谐波RF信号；耦合到所述阻抗匹配电路的倍频器，其中所述倍频器被配置为接收所述n次经修正的谐波RF信号以输出(n+2)次谐波RF信号；耦合到所述倍频器的变量调节器，其中所述变量调节器被配置为修正所述(n+2)次谐波RF信号的变量，以输出调整后的(n+2)次谐波RF信号；以及耦合到所述变量调节器和所述阻抗匹配电路的加法器，其中，所述加法器被配置为将所述n次经修正的谐波RF信号和所述调整后的(n+2)次谐波RF信号相加以产生相加后的RF信号。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于朗姆研究公司，未经朗姆研究公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910406810.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
