[发明专利]复合型钛酸锂薄膜及其制备方法与应用在审
申请号: | 201910408044.0 | 申请日: | 2019-05-15 |
公开(公告)号: | CN110176586A | 公开(公告)日: | 2019-08-27 |
发明(设计)人: | 俞兆喆;魏堃;程燕;杨道国;徐华蕊;蔡苗;朱归胜;颜东亮 | 申请(专利权)人: | 桂林电子科技大学 |
主分类号: | H01M4/36 | 分类号: | H01M4/36;H01M4/131;H01M4/485;H01M4/62;H01M10/0525;H01G11/46;H01G11/50 |
代理公司: | 深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 44333 | 代理人: | 左光明 |
地址: | 541000 广西*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | 本发明提供了一种复合型钛酸锂薄膜及其制备方法与应用。所述复合型钛酸锂薄膜的制备方法包括的步骤有:将钛酸锂靶材和能量密度贡献主体元素靶材在惰性气氛下进行共溅射处理,在基体上生长复合型钛酸锂薄膜。本发明复合型钛酸锂薄膜的制备方法将钛酸锂靶材和能量密度贡献主体元素靶材直接采用共溅射法沉积形成。使得生长的复合型钛酸锂薄膜具有丰富的通道结构,且结构稳定,可以提供高的锂离子传输速率,提供了良好的循环可逆性,保持了较高的比容量;同时有效阻止电解液与纳米级能量密度贡献主体元素的直接接触,可以减少和阻止电解液与能量密度贡献主体之间的不可逆副反应,减少固体电解质膜(SEI)的产生。 | ||
搜索关键词: | 钛酸锂薄膜 密度贡献 靶材 制备 主体元素 电解液 共溅射 钛酸锂 固体电解质膜 循环可逆性 锂离子传输 结构稳定 通道结构 生长 比容量 不可逆 副反应 纳米级 沉积 应用 | ||
【主权项】:
1.一种复合型钛酸锂薄膜的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:将钛酸锂靶材和能量密度贡献主体元素靶材在惰性气氛下进行共溅射处理,在基体上生长复合型钛酸锂薄膜。
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