[发明专利]一种高品质因数的椭圆形谐振器有效
| 申请号： | 201910409244.8 | 申请日： | 2019-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN110120795B | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 何江波 | 申请（专利权）人： | 西华大学 |
| 主分类号： | H03H9/24 | 分类号： | H03H9/24;H03H9/02 |
| 代理公司： | 成都方圆聿联专利代理事务所(普通合伙) 51241 | 代理人： | 曹少华 |
| 地址： | 610039 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高品质因数的椭圆形谐振器，包括：椭圆谐振子、压电驱动器、压电检测器、支撑梁、锚点、引脚、导线和衬底；支撑梁包括第一支撑梁和第二支撑梁；导线包括驱动信号导线、检测信号导线、第一接地信号导线和第二接地信号导线；锚点包括第一锚点和第二锚点；引脚包括第一接地信号引脚、第二接地信号引脚、检测信号引脚和驱动信号引脚；衬底的顶面上设置有悬浮的椭圆谐振子，椭圆谐振子长轴的一端通过第一支撑梁连接第一锚点，椭圆谐振子长轴的另一端通过第二支撑梁连接第二锚点；解决了以往技术中由于支撑梁扭转变形导致的损耗问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 品质因数 椭圆形 谐振器 | ||
【主权项】：
1.一种高品质因数的椭圆形谐振器，其特征在于，包括：椭圆谐振子(1)、压电驱动器、压电检测器、支撑梁、锚点、引脚、导线和衬底(11)；所述支撑梁包括第一支撑梁(4‑1)和第二支撑梁(4‑2)；所述导线包括驱动信号导线(9)、检测信号导线(10)、第一接地信号导线(16‑1)和第二接地信号导线(16‑2)；所述锚点包括第一锚点(8‑1)和第二锚点(8‑2)；所述引脚包括第一接地信号引脚(5‑1)、第二接地信号引脚(5‑2)、检测信号引脚(7)和驱动信号引脚(6)；所述衬底(11)的顶面上设置有悬浮的椭圆谐振子(1)，所述椭圆谐振子(1)长轴的一端通过第一支撑梁(4‑1)连接第一锚点(8‑1)，所述椭圆谐振子(1)长轴的另一端通过第二支撑梁(4‑2)连接第二锚点(8‑2)；所述第一锚点(8‑1)设置于衬底(11)的顶面上，所述第一锚点(8‑1)和衬底(11)之间设置有第一绝缘氧化层(22‑1)；所述第二锚点(8‑2)设置于衬底(11)的顶面上，所述第二锚点(8‑2)和衬底(11)之间设置有第二绝缘氧化层(22‑2)；所述第一锚点(8‑1)顶面上设置有驱动信号引脚(6)和第一接地信号引脚(5‑1)，所述第二锚点(8‑2)顶面上设置有检测信号引脚(7)和第二接地信号引脚(5‑2)；所述椭圆谐振子(1)上设置压电驱动器和压电检测器；所述压电驱动器依次由第一二氧化硅绝缘层(14‑1)、第一接地电极(13‑1)、第一PZT压电薄膜(12‑1)和驱动电极(2)堆叠而成；所述压电检测器依次由第二二氧化硅绝缘层(14‑2)、第二接地电极(13‑2)、第二PZT压电薄膜(12‑2)和检测电极(3)堆叠而成；所述压电驱动器和压电检测器的平面图形一样且为椭圆形。
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