[发明专利]亚微米级高精度HBT位移传感器的信号转换器以及信号修正方法在审
申请号: | 201910409593.X | 申请日: | 2019-05-16 |
公开(公告)号: | CN110132115A | 公开(公告)日: | 2019-08-16 |
发明(设计)人: | 蒋文郁;顾睿杰 | 申请(专利权)人: | 无锡市迈日机器制造有限公司 |
主分类号: | G01B7/02 | 分类号: | G01B7/02 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 殷红梅;屠志力 |
地址: | 214101 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种亚微米级高精度HBT位移传感器的信号转换器,包括:激励信号发生器、同步取样脉冲发生器、交流放大器、同步取样器、有源滤波器、高增益直流放大器、A/D转换器、单片机、D\A转换器、模拟量输出口以及数字量接口;所述单片机中设有信号修正模块,用于对HBT位移传感器的测量值进行线性修正;本发明还提出一种亚微米级高精度HBT位移传感器的信号转换器的信号修正方法。本发明提高了HBT位移传感器的测量精度,线性好,适合多品种、高精密柔性生产线的现场测量需求。 | ||
搜索关键词: | 位移传感器 信号转换器 信号修正 亚微米级 单片机 高增益直流放大器 测量 激励信号发生器 取样脉冲发生器 转换器 模拟量输出口 交流放大器 柔性生产线 数字量接口 同步取样器 现场测量 线性修正 源滤波器 多品种 高精密 | ||
【主权项】:
1.一种亚微米级高精度HBT位移传感器的信号转换器,其特征在于,包括:激励信号发生器(2)、同步取样脉冲发生器(3)、交流放大器(4)、同步取样器(5)、有源滤波器(6)、高增益直流放大器(7)、A/D转换器(8)、单片机(10)、D\A转换器(11)、模拟量输出口(12)以及数字量接口(13);所述单片机(10)中设有信号修正模块(9),用于对HBT位移传感器(1)的测量值进行线性修正;单片机(10)的时钟输出端连接到激励信号发生器(2)的输入端,激励信号发生器(2)的一路激励信号输出端接到HBT位移传感器(1)的激励信号输入端,激励信号发生器(2)的另一路激励信号输出端连接到同步取样脉冲发生器(3)的激励信号输入端,同步取样脉冲发生器(3)的脉冲信号输出端与同步取样器(5)连接;HBT位移传感器(1)的检测信号输出端连接到交流放大器(4)的输入端,交流放大器(4)的输出端接同步取样器(5)的取样信号输入端,同步取样器(5)的输出端连接到有源滤波器(6)的输入端,有源滤波器(6)的输出端连接到高增益直流放大器(7)的输入端,高增益直流放大器(7)的模拟信号输出端连接到A/D转换器(8)的模拟信号输入端,A/D转换器(8)的数字信号输出端连接单片机(10)的数字信号输入端,单片机(10)的串行信号输入/输出端连接到数字量接口(13),单片机(10)的模拟量输出口连接到D\A转换器(11)的模拟量输入口,D\A转换器(11)输出端连接模拟量输出口(12)。
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