[发明专利]清洁液循环利用的清洗系统及方法在审
| 申请号： | 201910409822.8 | 申请日： | 2019-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN111940409A | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 胡自立 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/14 | 分类号： | B08B3/14;H01L21/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明实施例涉及清洗技术领域，公开了一种清洁液循环利用的清洗系统及方法，所述清洁液循环利用的清洗系统包括：用于放置清洗物的清洁腔室，与所述清洁腔室连通的废液循环处理装置，分别与所述清洁腔室及所述废液循环处理装置连通的清洁液配置装置；所述废液循环处理装置用于回收所述清洁腔室中流出的废液、并将所述废液加工成满足预设要求的待配置清洁液；所述清洁液配置装置用于将所述待配置清洁液配置成待使用清洁液；所述清洁腔室用于使用所述待使用清洁液以清洗待清洗物。本发明提供的清洁液循环利用的清洗系统及方法能够循环利用清洁液，降低清洗成本。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 循环 利用 清洗 系统 方法 | ||
【主权项】：
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