[发明专利]一种电阻式高灵敏柔性压力传感器件有效
申请号: | 201910409890.4 | 申请日: | 2019-05-17 |
公开(公告)号: | CN110057478B | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
发明(设计)人: | 孙思雨;曹海琳;丁小恒;李明愚;郭悦 | 申请(专利权)人: | 深圳市航天新材科技有限公司;深圳烯创先进材料研究院有限公司 |
主分类号: | G01L1/22 | 分类号: | G01L1/22;G01L9/04 |
代理公司: | 深圳市添源知识产权代理事务所(普通合伙) 44451 | 代理人: | 罗志伟 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山区粤海街道科技*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种电阻式高灵敏柔性压力传感器件,包括叠层设置的第一柔性薄膜基底、压敏层、环形电极层和第二柔性薄膜基底,其中,所述压敏层位于所述第一柔性薄膜基底、环形电极层之间,所述环形电极层位于所述压敏层、第二柔性薄膜基底之间,所述环形电极层包括环形电极和电极引出端,所述环形电极与所述电极引出端连接,所述第一柔性薄膜基底与所述第二柔性薄膜基底通过粘性材料封装,所述压敏层包括位于同一平面的外圈压敏层和内圈压敏层,所述外圈压敏层的直径大于所述内圈压敏层,所述内圈压敏层的表面电阻大于所述外圈压敏层的表面电阻。本发明的有益效果是:兼具较高灵敏度与量程输出曲线无突变。 | ||
搜索关键词: | 一种 电阻 灵敏 柔性 压力传感器 | ||
【主权项】:
1.一种电阻式高灵敏柔性压力传感器件,其特征在于:包括叠层设置的第一柔性薄膜基底、压敏层、环形电极层和第二柔性薄膜基底,其中,所述压敏层位于所述第一柔性薄膜基底、环形电极层之间,所述环形电极层位于所述压敏层、第二柔性薄膜基底之间,所述环形电极层包括环形电极和电极引出端,所述环形电极与所述电极引出端连接,所述第一柔性薄膜基底与所述第二柔性薄膜基底通过粘性材料封装,所述压敏层包括位于同一平面的外圈压敏层和内圈压敏层,所述外圈压敏层的直径大于所述内圈压敏层,所述内圈压敏层的表面电阻大于所述外圈压敏层的表面电阻。
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