[发明专利]一种微光纤光栅PH3浓度传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201910410149.X | 申请日： | 2019-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN110031418A | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 徐坤;辛玉洁;孙丽君;李艳军;卢涛 | 申请（专利权）人： | 河南工业大学 |
| 主分类号： | G01N21/33 | 分类号： | G01N21/33 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 450001 河南省郑州市高新技*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种微光纤光栅PH3浓度传感器。所述传感器包括敏感涂层、传导光纤和微光纤光栅；所述敏感涂层包含TiO2层和Al掺杂的BN层，所述敏感涂层均匀涂敷在所述微光纤光栅。所述传感器制备方法包括：对光纤进行载氢处理，将光纤包层腐蚀掉，使纤芯裸露出来；采用紫外光曝光法，在纤芯上制备微光纤光栅；利用物理气相沉积方法在微光纤光栅表面沉积TiO2层，以BN和Al为靶材，采用双靶材沉积，先进行BN沉积，然后打开Al靶材进行共沉积，制备Al掺杂的BN层；低温退火。微光纤光栅PH3浓度传感器具有抗电磁干扰、抗腐蚀、灵敏度高和稳定性好等特点，且易于系统集成进行分布式测量，适用于储粮熏蒸过程中PH3浓度的实时准确可靠测量。 | ||
| 搜索关键词： | 微光纤 光栅 浓度传感器 敏感涂层 沉积 制备 掺杂的 靶材 纤芯 物理气相沉积 传感器制备 分布式测量 抗电磁干扰 紫外光曝光 传导光纤 低温退火 光纤包层 光栅表面 均匀涂敷 可靠测量 系统集成 熏蒸过程 载氢处理 共沉积 抗腐蚀 灵敏度 传感器 双靶 光纤 裸露 腐蚀 | ||
【主权项】：
1.一种微光纤光栅PH3浓度传感器，其特征在于，包括敏感涂层（1），传导光纤（2）和微光纤光栅（3）；所述敏感涂层（1）包含TiO2层（11）和BN层（12），所述敏感涂层（1）均匀涂敷在所述微光纤光栅（3），所述传导光纤由纤芯（21）和包层（22）组成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河南工业大学，未经河南工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910410149.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种烟碱的测定方法
- 下一篇：一种非色散红外甲烷传感器的自动检定装置
