[发明专利]MSM型探测器及其偏置电压调整方法和装置有效
| 申请号： | 201910411240.3 | 申请日： | 2019-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN110132326B | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 段立业;卢尧;侯孟军;唐大伟 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方技术开发有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/34 | 分类号： | G01D5/34;G01D5/12;H01L31/09 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种MSM型探测器及其偏置电压调整方法和装置，该方法包括：确定MSM型探测器初始的偏置电压，基于初始的偏置电压采集待测物体的图像，并确定图像对应的噪声参数；调整初始的偏置电压得到调整后的偏置电压，基于调整后的偏置电压重新采集待测物体的图像，并确定重新采集的图像对应的噪声参数，判断基于调整前后的偏置电压采集的图像的噪声参数之差是否大于预设第一阈值；若不大于，则再次调整调整后的偏置电压，直至调整前后的偏置电压采集的图像的噪声参数之差大于预设第一阈值为止，将最后一次调整前的偏置电压作为MSM型探测器的最终偏置电压。解决了现有技术中采集的图像质量较差的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | msm 探测器 及其 偏置 电压 调整 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种MSM型探测器偏置电压调整方法，其特征在于，包括：确定金属‑半导体‑金属MSM型探测器初始的偏置电压；基于初始的偏置电压采集待测物体的图像，并确定图像对应的噪声参数；基于预设的第一机制调整初始的偏置电压得到调整后的偏置电压，基于调整后的偏置电压重新采集待测物体的图像，并确定重新采集的图像对应的噪声参数；判断基于调整前后的偏置电压采集的图像的噪声参数之差是否大于预设第一阈值；若不大于，则基于所述第一机制再次调整调整后的偏置电压，直至确定基于调整前后的偏置电压采集的图像的噪声参数之差大于预设第一阈值为止，将最后一次调整前的偏置电压作为MSM型探测器的最终偏置电压。
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