[发明专利]感应耦合等离子体蚀刻系统及其切换式匹配装置有效
| 申请号： | 201910412317.9 | 申请日： | 2019-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN110517942B | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 洪再和 | 申请（专利权）人： | 洪再和 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;祁建国 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种感应耦合等离子体蚀刻系统及其切换式匹配装置，该切换式匹配装置包含有一射频电源输入端口、一射频电源输出端口、一匹配网络及一切换单元；其中该切换单元将该射频电源输入端口通过该匹配网络耦接至该射频电源输出端口，或直接耦接至该射频电源输出端口，因该匹配网络的输出阻抗与感应耦合等离子体蚀刻系统于清洁模式下的负载阻抗相匹配，于清洁模式下，该切换单元被同步切换，令该射频电源输入端口通过该匹配网络耦接至该射频电源输出端口，以提升射频电源的功率及降低反射功率，提高清洁效率。 | ||
| 搜索关键词： | 感应 耦合 等离子体 蚀刻 系统 及其 切换 匹配 装置 | ||
【主权项】：
1.一种感应耦合等离子体蚀刻系统，其特征在于，包括：/n一耦合线圈；/n一切换式匹配装置，耦接至该耦合线圈，且具有一匹配网络；以及/n一第一射频电源供应器，通过该切换式匹配装置耦接至该耦合线圈；其中，该第一射频电源供应器提供一蚀刻用射频电源及一清洁用射频电源，该蚀刻用射频电源功率与清洁用射频电源功率不同；其中：/n当该第一射频电源供应器输出该蚀刻用射频电源时，该切换式匹配装置切换以直接将该第一射频电源供应器耦接至该耦合线圈；/n当该第一射频电源供应器输出该清洁用射频电源时，该切换式匹配装置切换以通过该匹配网络将该清洁用射频电源传送至该耦合线圈；其中该匹配网络的输出阻抗与该感应耦合等离子体蚀刻系统于一清洁模式下的负载相匹配。/n
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