[发明专利]晶圆界面键合能的测试方法有效
| 申请号： | 201910413139.1 | 申请日： | 2019-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN110231285B | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 徐齐;黄翔;周阳;锁志勇;丁滔滔 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N19/04 | 分类号： | G01N19/04 |
| 代理公司： | 北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙) 11479 | 代理人： | 陈敏 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种晶圆界面键合能的测试方法，包括如下步骤：提供一键合样品，所述键合样品包括相互键合的第一键合部和第二键合部；从所述键合样品的一端将所述第一键合部和所述第二键合部拉开至设定的远离距离，并实时记录在拉开过程中随拉开距离变化的拉力；根据所述拉开距离与所述拉力的变化关系计算出界面键合能。本发明通过在晶圆特定位置截取键合样品，对所述键合样品进行多次拉力测试，通过拉力与拉开距离的关系，得到所述键合样品的界面键合能。 | ||
| 搜索关键词： | 界面 键合能 测试 方法 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆界面键合能的测试方法，其特征在于，包括如下步骤：提供一键合样品，所述键合样品包括相互键合的第一键合部和第二键合部；从所述键合样品的一端将所述第一键合部和所述第二键合部拉开至设定的远离距离，并实时记录在拉开过程中随拉开距离变化的拉力；根据所述拉开距离与所述拉力的变化关系计算出界面键合能。
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