[发明专利]薄膜制备辅助装置及薄膜制备方法在审
| 申请号： | 201910413329.3 | 申请日： | 2019-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN110066983A | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 胡二涛;王政勇;卢文生;韦玮;余柯涵 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 姚姣阳 |
| 地址： | 210003 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种薄膜制备辅助装置，用于安装在镀膜仪器上辅助制备薄膜，包括辅助结构、支撑结构和控制结构，所述辅助结构设置于所述支撑结构上，所述辅助结构与所述控制结构传动连接，所述辅助结构包括移动滑轨，所述移动滑轨上搭载有滑块，所述滑块的一侧固定连接有挡板，所述挡板下方设置有长方形凹槽。本发明还公开了一种薄膜制备方法。本装置可以在基片上制备厚度均匀变化的楔形薄膜或者阶梯型薄膜，其整体结构简单、小巧紧凑，操作简单方便，适用于各类镀膜仪器。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜制备 辅助结构 薄膜 挡板 辅助装置 控制结构 移动滑轨 支撑结构 镀膜 滑块 制备 长方形凹槽 传动连接 厚度均匀 阶梯型 楔形 紧凑 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜制备辅助装置，用于安装在镀膜仪器上辅助制备薄膜，其特征在于：包括辅助结构、支撑结构和控制结构，所述辅助结构设置于所述支撑结构上，所述辅助结构与所述控制结构传动连接，所述辅助结构包括移动滑轨，所述移动滑轨上搭载有滑块，所述滑块的一侧固定连接有挡板，所述挡板下方设置有长方形凹槽。
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