[发明专利]喷涂材料、喷涂部件和制造方法有效
| 申请号： | 201910414028.2 | 申请日： | 2019-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN110499486B | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 高井康 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C23C4/04 | 分类号： | C23C4/04;C23C4/134 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 李跃龙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种喷涂材料、喷涂部件和制造方法。喷涂材料限定为基本上由(A)稀土氟化物颗粒和(B)稀土氧化物、稀土氢氧化物或稀土碳酸盐的颗粒固结在一起组成的复合颗粒。以稳定的方式将喷涂材料等离子喷涂到基材上，形成含有稀土氟氧化物的喷涂层，同时使工艺偏移最小化并释放很少颗粒。该喷涂部件具有改善的对卤素系气体等离子体的耐腐蚀性。 | ||
| 搜索关键词： | 喷涂 材料 部件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种喷涂材料，其包含基本上由(A)稀土氟化物颗粒和(B)至少一种稀土化合物颗粒固结在一起构成的复合颗粒，所述稀土化合物选自稀土氧化物、稀土氢氧化物和稀土碳酸盐。/n
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法，例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理，例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
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