[发明专利]一种二维直线度误差及其位置同时测量装置及方法有效
| 申请号： | 201910414749.3 | 申请日： | 2019-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN110068272B | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 张恩政;陈本永 | 申请（专利权）人： | 浙江理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/27 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310018 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种二维直线度误差及其位置同时测量装置及方法。使用一个角锥棱镜作为三自由度测量光路的测量镜，激光光斑位置检测光路产生的光斑位置信号，经信号采集和数据处理实现水平直线度误差和垂直直线度误差的测量，激光外差干涉位置测量光路产生的干涉信号，经信号采集和数据处理实现直线度误差测量点位置的测量。本发明不仅能实现水平和垂直直线度误差的同时测量，还可同时给出直线度误差测量点的位置，用于大行程精密导轨，精密工作台等的直线度参数测量和校准中，提高检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二维 直线 误差 及其 位置 同时 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种二维直线度误差及其位置同时测量装置，其特征在于：包括激光光斑位置检测光路和激光外差干涉位置测量光路，激光光斑位置检测光路包括半透半反镜(11)和位置敏感探测器(12)，激光外差干涉位置测量光路包括双频激光器(1)、第一偏振分光镜(2)、第一四分之一波片(3)、平面镜(4)、偏振片(5)、光电探测器(6)、法拉第旋光器(7)、第二偏振分光镜(8)、第二四分之一波片(9)、角锥棱镜(10)和半透半反镜(11)；角锥棱镜(10)固定于被测物体上，随着被测物体一起运动。
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