[发明专利]基于移位和多项式拟合的全息像差绝对校准方法及系统

摘要

本发明涉及一种基于移位和多项式拟合的全息像差绝对校准方法及系统，属于光学测量领域，包括：采集第一幅全息图后正交移动样品两次并分别捕获得到三幅全息图；对全息图相位调解得到三个原始相位结果；对结果进行坐标变换，使得变换后的测试物体相位一致；差分计算得到系统像差相位在两次位移前后的相位差分数据；计算切比雪夫多项式系数进而计算出系统像差相位；对得到的包含像差的原始相位结果减去系统像差相位，得到测试物体相位。本发明可以有效地保护物体相的中高频信息，且对光路设置要求低，只需要增添一个额外的三轴位移平台就可以对任意传统的数字全息显微镜成像系统进行系统像差补偿。

主权项

1.一种基于顺序移位和切比雪夫多项式拟合的数字全息显微镜像差绝对校准方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)采集全息图，在采集第一幅全息图后，通过在光轴的垂直平面上正交地移动样品两次并分别捕获其全息图，得到包含测试物体相位和系统像差相位的三幅全息图；(2)对步骤(1)获得的三幅全息图分别进行相位调解，通过基于傅里叶变换的相位解调方法，提取其频谱的+1级信息，并从+1级信息中提取测试物体相位，得到三个包含像差的原始相位结果；(3)对步骤(2)得到的三个包含像差的原始相位结果进行坐标变换，使得变换后的使得变换后的三个相位结果的测试物体相位一致，而系统像差相位之间有微小位移；(4)对步骤(3)得到的三个相位结果进行差分计算，得到系统像差相位在两次位移前后的相位差分数据；(5)对步骤(4)得到的两个相位差分数据，根据切比雪夫多项式和两次位移对应的移动量计算出系统像差相位的切比雪夫多项式系数，并将切比雪夫多项式系数带入切比雪夫多项式中计算出系统像差相位；(6)对步骤(2)得到的包含像差的原始相位结果减去步骤(5)得到的系统相差相位，得到测试物体相位。