[发明专利]绝缘基板的检查方法、检查装置有效
| 申请号： | 201910415091.8 | 申请日： | 2019-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN110531226B | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 上田哲也;鲛岛一树;盐田裕基 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/12 | 分类号： | G01R31/12 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 何立波;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供适于低成本化的绝缘基板的检查方法和检查装置。其特征在于具备如下步骤：使下部电极(23)与绝缘基板(12)的下部金属(15)接触，使上部电极(22)与上部金属(13)接触，该绝缘基板(12)具有绝缘层(14)、与该绝缘层(14)的下表面相接的该下部金属(15)以及与该绝缘层(14)的上表面相接的该上部金属(13)；以及对该下部电极(23)和该上部电极(22)施加交流电压，对由该绝缘层(14)的缺陷产生的电磁波进行检测。 | ||
| 搜索关键词： | 绝缘 检查 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种绝缘基板的检查方法，其特征在于，具备下述步骤：/n使下部电极与绝缘基板的下部金属接触，使上部电极与所述绝缘基板的上部金属接触，该绝缘基板具有绝缘层、与所述绝缘层的下表面相接的所述下部金属以及与所述绝缘层的上表面相接的所述上部金属；以及/n对所述下部电极和所述上部电极施加交流电压，对由所述绝缘层的缺陷产生的电磁波进行检测。/n
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