[发明专利]一种柔性阵列微电极制备方法

摘要

本发明为一种柔性阵列微电极制备方法，该方法采用粘性柔性基底，以高导电性材料作为电极材质，采用基于软光刻的微电极涂覆工艺，达到亚毫米及以下尺寸，具体步骤是：先制作出具有电极图案的模具；再利用打孔器在电极图案的通道两端的圆形处进行打孔；将打孔后的模具放入离子键合机中，放置时使通道朝上，抽真空并等离子化；将导电油墨和稀释剂混合后放入超声波清洗机中超声震荡混合均匀，用针头与第二步中打孔器尺寸一样的注射器将稀释过的导电油墨从孔的一头注入，直到通道充满导电油墨；再加热后将模具从粘性柔性基底上撕下，并将粘性柔性基底两头带孔的部分裁去，只留下电极部分和接线部分。在保证柔性的同时实现低成本和高分辨率。

主权项

1.一种柔性阵列微电极制备方法，该方法采用粘性柔性基底，以高导电性材料作为电极材质，采用基于软光刻的微电极涂覆工艺，达到亚毫米及以下尺寸，具体步骤是：第一步、根据设计需求订做具有设计电极宽度的电极图案的掩膜，制作出具有电极图案的模具；第二步、用保鲜膜包裹含有电极图案的模具，利用切割刀将模具的边角切掉，利用胶带清理模具表面杂质颗粒，再利用打孔器在电极图案的通道两端的圆形处进行打孔；第三步、将打孔后的模具放入离子键合机中，放置时使通道朝上，即具有电极图案的一面朝上，抽真空并等离子化180s‑250s，将模具有电极图案的一面轻轻与粘性柔性基底贴合，再将贴合后的模具和粘性柔性基底放到加热台上80℃加热10‑20分钟；第四步、将导电油墨和稀释剂混合后放入超声波清洗机中超声震荡混合均匀，用针头与第二步中打孔器尺寸一样的注射器将稀释过的导电油墨从孔的一头注入，直到通道充满导电油墨；再放置在加热台上80℃加热5‑6分钟，之后将模具从粘性柔性基底上撕下，并将粘性柔性基底两头带孔的部分裁去，只留下电极部分和接线部分。