[发明专利]一种低功耗、低插损的光控太赫兹调制器及其制备方法在审
| 申请号： | 201910419828.3 | 申请日： | 2019-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN110244475A | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 凌东雄;莫晨;刘竞博 | 申请（专利权）人： | 东莞理工学院 |
| 主分类号： | G02F1/01 | 分类号： | G02F1/01;G02F1/015 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 李冉 |
| 地址： | 523808 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种低功耗、低插损的光控太赫兹调制器，包括依次设置的石英基底，硅薄膜，硅纳米针阵列结构和石墨烯薄膜；石墨烯薄膜为多层；并且提供了其制备方法。以石英作为基底材料，可减小器件基底对太赫兹波的插入损耗；在石英基底表面生成硅薄膜并制备硅纳米针阵列结构，可提高对泵浦光的利用率；以硅纳米针阵列结构和石墨烯薄膜的接触部位为工作源区，在泵浦光的激励下，实现对太赫兹波的有效调控。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨烯薄膜 硅纳米 针阵列 石英 制备 太赫兹调制器 太赫兹波 泵浦光 低功耗 硅薄膜 插损 光控 基底 插入损耗 基底表面 基底材料 接触部位 依次设置 有效调控 工作源 多层 减小 | ||
【主权项】：
1.一种低功耗、低插损的光控太赫兹调制器，其特征在于，包括依次设置的石英基底，硅薄膜，硅纳米针阵列结构和石墨烯薄膜；所述石墨烯薄膜为多层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东莞理工学院，未经东莞理工学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910419828.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
