[发明专利]一种颜色介质膜制备方法和制备设备

摘要

本发明公开了一种颜色介质膜制备方法，包括以下步骤：步骤1、通过磁控溅射法镀制高折射率膜层，在电磁场作用下，高折射率材料离化成离子状态，和溅射腔体中的O2发生化学反应，沉积到基板表面，得到高折射率膜层；步骤2、通过辊涂法镀制低折射率膜层，低折射率材料通过加热固化处理，实现和基板结合，得到低折射率膜层；步骤3、按照步骤1高折射率膜层镀制方法和步骤2低折射率膜层镀制方法进行层叠交替镀制，完成颜色介质膜制备。本发明颜色介质膜制备方法采用磁控溅射/辊涂法/磁控溅射/辊涂法……反复堆叠的工艺制备颜色介质膜，解决颜色介质膜由于高折射率材料和低折射率材料厚度不同，而引起的生产节拍不匹配问题。