[发明专利]一种保护石英晶片电极的方法有效
申请号: | 201910421041.0 | 申请日: | 2019-05-20 |
公开(公告)号: | CN110149101B | 公开(公告)日: | 2023-08-01 |
发明(设计)人: | 陆旺;雷晗;李辉;艾星 | 申请(专利权)人: | 成都泰美克晶体技术有限公司 |
主分类号: | H03H3/02 | 分类号: | H03H3/02 |
代理公司: | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人: | 黄蓉蓉 |
地址: | 610031 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种保护石英晶片电极的方法,包括如下步骤:S1、将石英晶片洗净,然后脱水干燥;S2、在石英晶片的上、下表面均沉积上粘结金属层;S3、在粘结金属层上均沉上积金属电极层;S4、在石英晶片的上、下表面均沉积将金属电极层完全覆盖的保护层。本发明中,通过在石英晶片上沉积保护层,并在后期使用石英晶片时通过碱性溶液或者其他腐蚀液将其去除,这不仅能在石英晶片库存、运输时,保护金属电极层的质量,防止金属电极层氧化、磨损等不良情况产生;还可以在后期使用石英晶片时,通过碱性溶液将其去除,既不损伤石英晶片上金属电极的质量,又能顺利地进行石英晶振的装配作业。 | ||
搜索关键词: | 一种 保护 石英 晶片 电极 方法 | ||
【主权项】:
1.一种保护石英晶片电极的方法,其特征在于:包括如下步骤:S1、将石英晶片洗净,然后脱水干燥;S2、在石英晶片的上、下表面均沉积上粘结金属层;S3、在步骤S2中得到的粘结金属层上均沉上积金属电极层;S4、在石英晶片的上、下表面均沉积将金属电极层完全覆盖的保护层。
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