[发明专利]一种成像光谱仪快速装调方法有效

专利信息
申请号: 201910421500.5 申请日: 2019-05-21
公开(公告)号: CN110196100B 公开(公告)日: 2021-04-09
发明(设计)人: 袁立银;王跃明;何志平 申请(专利权)人: 中国科学院上海技术物理研究所
主分类号: G01J3/28 分类号: G01J3/28;G01J3/02
代理公司: 上海沪慧律师事务所 31311 代理人: 郭英
地址: 200083 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种成像光谱仪快速装调方法。装调对象为基于面阵探测器的色散型成像光谱仪,辅助装调组件包括辅助二维视场光阑组件、平行光管、复色光源、单色光源、探测器调整架和前置光学调整架。装调步骤是先初定位探测器,其次是调整光栅与狭缝的正交性以及固定探测器,再切换视场光阑,最后是固定前置光学。本发明借助二维视场光阑组件,在光谱仪装调过程中同时考察到空间和光谱的装调信息。本发明的优点是:装调过程简单快速,装调精度高。
搜索关键词: 一种 成像 光谱仪 快速 方法
【主权项】:
1.一种成像光谱仪快速装调方法,所述的成像光谱仪为基于面阵探测器的色散型系统,辅助装调组件包括辅助二维视场光阑组件(1)、平行光管(2)、复色光源(3)、单色光源(4)、探测器调整架(5)和前置光学调整架(6),其特征在于装调步骤如下:1)、探测器初定位:安装好辅助二维视场光阑组件(1),用均匀的复色光源(3)将其照明,在面阵探测器的对应视场位置形成点视场复色像;通过探测器调整架(5)调整安装在其上的面阵探测器,使点视场复色像锐利且与探测器列对齐;单色光源(4)照明辅助二维视场光阑组件(1),通过探测器调整架(5),使得一定波长的单色狭缝像落在探测器对应行上;2)、光栅与狭缝的正交性调整与探测器固定:单色光源(4)照明辅助二维视场光阑组件(1),观察单色狭缝像与探测器行的对齐情况,调整光栅绕轴旋转,使辅助二维视场光阑组件(1)的水平狭缝单色像锐利且与探测器行基本对齐;切换步骤1),微调探测器调整架(5),使点视场复色像锐利且与探测器列对齐;逐次迭代,使得辅助二维视场光阑组件(1)的水平狭缝单色像锐利且与探测器行对齐的同时,切换到步骤1)时点视场复色像锐利且与探测器列也对齐,固定探测器;3)、切换光阑组件:按步骤2)的狭缝单色像光谱位置,将切换辅助二维视场光阑组件(1)成正式光阑组件;4)、固定前置光学:复色光源(3)照明平行光管(2),通过前置光学调整架(6)调整安装在其上的前置光学,使得面阵探测器上的复色像锐利,且对应各视场时,面阵探测器上的复色像都锐利。
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