[发明专利]GaN基的单件集成的无机LED显示器

摘要

本发明提供一种单片集成的无机LED显示器件的制备方法，包括如下步骤：提供多层材料；借助于材料去除的方式在多个微LED子像素区中形成预定的多量子阱层图案和P型掺杂层图案；借助于材料去除的方式在多个微LED子像素区中形成预定的N型掺杂层图案和在多个HEMT区中形成一对预定的N型掺杂层图案；在所述多个HEMT区中的该对N型掺杂层图案之间形成栅极材料；在所述多个微LED子像素区和多个HEMT区中形成电极；去除沟道层的材料以在相邻的多个微LED子像素区和多个HEMT区之间形成间隙，形成分立的多个微LED子像素的层结构和多个HEMT的层结构；用绝缘材料填充所述间隙；以及形成电连接多个微LED子像素的层结构和多个HEMT的层结构的电导线布线。