[发明专利]一种基于光学倏逝波的非接触式高精度对刀系统

摘要

一种基于光学倏逝波的非接触式高精度对刀系统，涉及高精度机械设备中的刀具较准部件的设备领域。包括倏逝波生成模块、信号探测模块以及计算机，信号探测模块包括依次设置的物镜、凸透镜、带通滤波器以及信号探测器；刀具一开始可以轻轻触碰到倏逝波界面，然后按给定步长，例如：100nm，沿倏逝波界面的法线方向逐渐远离倏逝波界面，因为倏逝波沿界面法线方向呈指数式衰减，所以，刀具在脱离与界面接触后，与倏逝波作用产生的光强也会随着与界面距离的增加呈指数式衰减，因此，将刀具移动的距离和与倏逝波作用产生的光强进行拟合，可以得到刀具正好脱离与界面接触的位置，从而实现纳米级的精度校准。

主权项

1.一种基于光学倏逝波的非接触式高精度对刀系统，用于对机械设备中的加工刀具进行高精度地校准，其特征在于：包括倏逝波生成模块、信号探测模块以及计算机，倏逝波生成模块用于产生光学倏逝波；刀具垂直朝向倏逝波生成模块产生的光学倏逝波、并在进入倏逝波的电磁场层后，与光学倏逝波的电磁场相互作用激发出发射光波；信号探测模块用于接收探测刀具与光学倏逝波相互作用产生的发射光波、并将探测到的发射光波的光强信息传送至计算机；计算机用于根据探测到的发射光波的光强信息，来判断刀具是否已进入到光学倏逝波的电磁场层中，实现刀具与倏逝波界面之间的校准。