[发明专利]金属结构、器件和方法

摘要

本文提供金属结构，所述金属结构可以包括钴合金、镍合金或镍，以及有关的设备和方法。所述金属结构可以通过化学气相沉积（CVD）来被形成，并且可以包括在CVD过程期间所使用的前体材料的痕量。

主权项

1.一种金属结构，包括：/nA或B；以及/n碳、氮、氧、磷、卤素或氢中的一个或多个；/n其中A包括：/nb重量百分比的Co；/nq重量百分比的Q；以及/nz重量百分比的Z；/n其中b、q和z的总和等于100%；b在50%和99.99%之间，q在0.01%和50%之间；z在0%和49.9%之间；当z为0%时，Q选自Ni、Al、Mn、Si、Cr、V、Mo、Nb、Ta、W或Zr；当z不是0%时，Q选自Ni、Al、Mn、Si、Cr、V、Nb或Ta；并且Z选自Mo或W；/n其中B包括：/nd重量百分比的Ni；/ne重量百分比的X；以及/nf重量百分比的G；/n其中d、e和f的总和等于100%；d在50%和100%之间，e在0%和50%之间，f在0%和49.99%之间；当f为0%的时候，X选自 Co、Al、Mn、Si、Cr、V、Mo、Nb、Ta或W；当f不是0%的时候，X选自Co、Al、Mn、Si、Cr、V、Nb或Ta；并且G选自Mo或W。/n