[发明专利]氮氧化物传感器芯片及氮氧化物总量的检测方法在审
| 申请号： | 201910423432.6 | 申请日： | 2019-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN110220962A | 公开（公告）日： | 2019-09-10 |
| 发明（设计）人： | 王金兴;张斌;刘宏宇;王梓霖;常红;孙琦岳 | 申请（专利权）人： | 中国第一汽车股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/407 | 分类号： | G01N27/407 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 130011 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氮氧化物传感器芯片，其包括从上到下依次叠置的第一基片至第六基片；所述第二基片上设置第一腔室至第五腔室；第一基片的上表面设有主泵外电极，下表面设有第一主泵内电极，第一辅泵内电极和第二检测电极；所述第三基片上表面设有容置在第三腔室内的第二主泵内电极和容置在第四腔室内的第二辅泵内电极，并且还设置有第一检测电极；所述第三基片下表面设有参比电极；第五基片与第六基片之间设有加热电极。本发明通过在第五腔室内设有至少一个检测电极，增加了检测电极的反应面积，第五腔室主要用于分解在第四腔室内未分解完全的氮氧化物的进一步分解，以保证尾气中的氮氧化物分解完全，产生更多的电流信号，增加传感器的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 内电极 检测电极 主泵 室内 氮氧化物传感器 氮氧化物 下表面 分解 辅泵 腔室 容置 芯片 氮氧化物分解 基片上表面 参比电极 从上到下 第二检测 第一腔室 电流信号 加热电极 灵敏度 上表面 外电极 电极 传感器 叠置 尾气 检测 保证 | ||
【主权项】：
1.一种氮氧化物传感器芯片，其特征在于，包括从上到下依次叠置的第一基片、第二基片、第三基片、第四基片、第五基片和第六基片；所述第二基片上设置第一腔室、第二腔室、第三腔室、第四腔室和第五腔室；第一基片的上表面设有主泵外电极，下表面设有第一主泵内电极，第一辅泵内电极和第二检测电极；所述第一腔室与第二腔室间设有第一扩散障碍层，第二腔室与第三腔室间设置第二扩散障碍层，第三腔室与第四腔室间设置第三扩散障碍层，第四腔室与第五腔室间设置第四扩散障碍层；所述第一主泵内电极容置在第三腔室内，所述第一辅泵内电极和第一检测电极容置在第四腔室内，所述第二检测电极容置在第五腔室内；所述第三基片上表面设有容置在第三腔室内的第二主泵内电极和容置在第四腔室内的第二辅泵内电极，并且还设置有第一检测电极；所述第三基片下表面设有参比电极，第四基片上设有参比腔室，参比电极容置在参比腔室内；第五基片与第六基片之间设有加热电极。
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