[发明专利]二维材料的生长装置有效

专利信息
申请号: 201910424061.3 申请日: 2019-05-21
公开(公告)号: CN110066989B 公开(公告)日: 2023-04-11
发明(设计)人: 孙正乾;于葛亮;唐阳;王永慧 申请(专利权)人: 无锡费曼科技有限公司
主分类号: C23C16/455 分类号: C23C16/455;C23C16/30
代理公司: 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 代理人: 曹祖良;涂三民
地址: 214174 江苏省无锡市惠*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种二维材料的生长装置,在生长管的左、右端部设有左封板与右封板,在生长管的在右封板上固定有导流后板与导流前板,在从上往下方向上,导流后板向前下方倾斜,导流前板向后下方倾斜;在生长管上开设有下插槽与上插槽,在下插槽下方的生长管内壁固定有气体阻隔板,在生长管上开设有生长管气孔,在下插槽内插装有下层插片,在气体阻隔板左侧的下层插片的上表面设有放置凹陷,在下层插片上开设有第一气孔与第二气孔,在上插槽内插装有生长板与排气板,在排气板上开设有排气板气孔,导流后板与导流前板设置在下插槽与上插槽之间。本发明使得生长出来的二维材料的重复性高、质量好且单层多层可控。
搜索关键词: 二维 材料 生长 装置
【主权项】:
1.一种高品质二维材料的生长装置,其特征是:在生长管(1)的左端部设有左封板(11),在生长管(1)的右端部设有右封板(12),在右封板(12)上固定有若干块导流后板(31)与若干块导流前板(32),在从上往下方向上,导流后板(31)向前下方倾斜,导流外板(32)向后下方倾斜;在生长管(1)上开设有下插槽(13)与上插槽(14),在下插槽(13)下方的生长管(1)内壁固定有气体阻隔板(15),在生长管(1)的上部管体上开设有生长管气孔(16),在下插槽(13)内插装有下层插片(2),下层插片(2)的下表面与气体阻隔板(15)的上端面密封接触,所述左封板(11)与右封板(12)均封住下层插片(2)上方的生长管(1)的内孔,在气体阻隔板(15)左侧的下层插片(2)的上表面设有放置凹陷(21),在气体阻隔板(15)左侧的下层插片(2)上开设有第一气孔(22),在气体阻隔板(15)右侧的下层插片(2)上开设有第二气孔(23),在上插槽(14)内插装有生长板(4)与排气板(5),在排气板(5)上开设有排气板气孔(51),导流后板(31)与导流前板(32)设置在下插槽(13)与上插槽(14)之间。
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