[发明专利]一种过滤装置及抽真空系统

摘要

本发明涉及单晶制造技术领域，具体地说是一种过滤装置及抽真空系统。一种过滤装置包括罐体、过滤单元和清灰机构，所述清灰机构和所述过滤单元位于所述罐体内，所述过滤单元包括至少一个过滤袋，所述清灰机构包括拍打板，所述拍打板通过转动与至少一个所述过滤袋碰撞。本发明设置的除尘袋的过滤效果佳，其次通过清灰机构碰撞拍打过滤袋，能有效除去拉晶过程中产生的挥发物，使得拉晶中使用干泵成为可能，而对于拉晶中使用油泵的情况，能降低真空泵油的污染，极大的延长了真空泵的连续工作时间从而延长了单晶炉连续运行时间。