[发明专利]一种球面超声能场辅助微细电解铣削加工装置及方法

摘要

本发明提供一种球面超声能场辅助微细电解铣削加工装置及方法，包括机床主体，工件阳极，阳极驱动机构，工具阴极，阴极驱动机构，与所述工具阴极相连的球面超声振动系统，电解液循环系统，电解电源相连。电解液循环系统朝向工件阳极处喷电解液，电解电源供电，阴极驱动机构驱动工具阴极运动，阳极驱动机构驱动工件阳极运动，工具阴极对工件阳极进行微结构加工，球面超声振动系统将超声能量聚焦于工件加工面狭小的区域，可有效削弱微结构侧向腐蚀，具有阻抗低、易匹配、超声能量大、功率大等优势，有利于微细电解铣削实现小间隙加工，铣削层深度增加，利于铣削产物的去除及电解液的更新，实现复杂、高深宽比微结构的加工。

主权项

1.一种球面超声能场辅助微细电解铣削加工装置，其特征在于：包括机床主体，设置于所述机床主体上的工件阳极，驱动所述工件阳极在X轴、Y轴以及Z轴方向移动的阳极驱动机构，设置于所述工件阳极上方的工具阴极，驱动所述工具阴极在X轴、Y轴以及Z轴方向移动的阴极驱动机构，与所述工具阴极相连的球面超声振动系统，设置于所述工件阳极处的电解液循环系统；所述工具阴极和所述工件阳极之间通过电解电源相连。