[发明专利]亚波长金属光栅结构的石墨烯光电探测器

摘要

亚波长金属光栅结构的石墨烯光电探测器，涉及光通信技术领域，其包括衬底和吸收层，吸收层包括附着在衬底上的单层的石墨烯，在石墨烯上方设有缓冲层，缓冲层上设有亚波长金属光栅结构，亚波长金属光栅结构的光栅周期、狭缝宽度和光栅高度设定为可使入射光在光栅狭缝近场产生表面等离子体共振的尺寸范围内，缓冲层用于促进石墨烯对电场的吸收。本发明与传统结构相比，可以明显增强石墨烯对光的吸收，提高光电探测器的响应度。

主权项

1.亚波长金属光栅结构的石墨烯光电探测器，包括衬底和吸收层，所述吸收层包括附着在衬底上的单层的石墨烯，其特征在于：还包括设置在石墨烯上方的缓冲层，所述缓冲层上设有亚波长金属光栅结构，所述亚波长金属光栅结构的光栅周期、狭缝宽度和光栅高度设定为可使入射光在光栅狭缝近场产生表面等离子体共振的尺寸范围内，所述缓冲层用于促进石墨烯对电场的吸收。