[发明专利]具有法布里珀罗腔的闪耀光栅及其制造方法有效
申请号: | 201910427562.7 | 申请日: | 2019-05-22 |
公开(公告)号: | CN110146947B | 公开(公告)日: | 2020-07-21 |
发明(设计)人: | 胡绘钧;杨晓峰 | 申请(专利权)人: | 复旦大学 |
主分类号: | G02B5/18 | 分类号: | G02B5/18 |
代理公司: | 上海上谷知识产权代理有限公司 31342 | 代理人: | 蔡继清 |
地址: | 200433 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本申请公开了一种具有法布里珀罗腔的闪耀光栅。该闪耀光栅包括:光栅衬底、法布里珀罗腔和多个栅条。多个栅条设置在所述光栅衬底的上表面上并彼此平行且间隔开。法布里珀罗腔设置在所述光栅衬底的上表面上且所述法布里珀罗腔腔沿所述多个栅条方向的长度小于所述多个栅条的长度。本发明的具有法布里珀罗腔的闪耀光栅,能够增强衍射光强,增强光信号。 | ||
搜索关键词: | 有法 布里珀罗腔 闪耀 光栅 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种具有法布里珀罗腔的闪耀光栅,包括:光栅衬底;多个栅条,所述多个栅条设置在所述光栅衬底的上表面上并彼此平行且间隔开;法布里珀罗腔,所述法布里珀罗腔设置在所述光栅衬底的上表面上且所述法布里珀罗腔腔沿所述多个栅条方向的长度小于所述多个栅条的长度。
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