[发明专利]用于加工衬底材料的钝化层的探针有效
| 申请号： | 201910427569.9 | 申请日： | 2019-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN110127588B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 杨晓峰;胡绘钧 | 申请（专利权）人： | 季华实验室 |
| 主分类号： | B81B1/00 | 分类号： | B81B1/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海上谷知识产权代理有限公司 31342 | 代理人： | 蔡继清 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开一种用于加工衬底材料的钝化层的探针。该探针包括：悬臂部分；尖端，所述尖端位于所述悬臂部分末端并从所述悬臂部分突出；所述悬臂部分的一端固定至支架并从所述支架水平延伸，且所述尖端设置在所述悬臂部分的远离所述支架的所述末端。使用根据本发明的探针，能够精确地进行竖直方向的调整，能够进行钝化层的无掩模图形化、高效快速、成本低、且工艺简化。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 加工 衬底 材料 钝化 探针 | ||
【主权项】：
1.一种用于加工衬底材料的钝化层的探针，包括：悬臂部分；尖端，所述尖端位于所述悬臂部分末端并从所述悬臂部分突出；所述悬臂部分的一端固定至支架并从所述支架水平延伸，且所述尖端设置在所述悬臂部分的远离所述支架的所述末端。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于季华实验室，未经季华实验室许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910427569.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：纯棉本原中空被及其加工工艺
- 下一篇：用于加工衬底材料的钝化层的探针
