[发明专利]柱高测量方法、柱高测量装置和柱高测量系统在审

专利信息
申请号: 201910427742.5 申请日: 2019-05-22
公开(公告)号: CN110081850A 公开(公告)日: 2019-08-02
发明(设计)人: 石立;刘靖;余春宏;郭龙龙;赵小龙 申请(专利权)人: 成都中电熊猫显示科技有限公司
主分类号: G01B21/08 分类号: G01B21/08
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 黄溪;刘芳
地址: 610200 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明提供一种柱高测量方法、柱高测量装置和柱高测量系统,所述方法包括:获取待测彩膜基板的番号信息;将所述彩膜基板的番号信息发送给服务器,以使所述服务器根据所述番号信息获得所述番号信息对应的测量参数;接收所述服务器发送的所述测量参数;根据所述测量参数对所述彩膜基板的柱状垫层高度进行测量,本发明提供的柱高测量方法、柱高测量装置和柱高测量系统,解决了现有柱高测量时需手动切换制程参数,人为操作过多造成工作效率低下以及设备跳点异常增加的技术问题。
搜索关键词: 番号信息 测量 彩膜基板 测量参数 测量系统 测量装置 服务器 服务器发送 工作效率 手动切换 制程参数 垫层 跳点 柱状
【主权项】:
1.一种柱高测量方法,其特征在于,所述方法包括:获取待测彩膜基板的番号信息;将所述彩膜基板的番号信息发送给服务器,以使所述服务器根据所述番号信息获得所述番号信息对应的测量参数;接收所述服务器发送的所述测量参数;根据所述测量参数对所述彩膜基板的柱状垫层高度进行测量。
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