[发明专利]一种连续提供前驱体源的方法及装置

摘要

本发明提供一种用于连续提供前驱体源装置，包括：一与反应腔连接的第一源瓶，第一源瓶至少一个；与第一源瓶连接的第二源瓶，第二源瓶至少一个；第一源瓶中盛装有前驱体源，第二源瓶中盛装的前驱体源用于提供给第一源瓶，以使第一源瓶连续地往反应腔内输送前驱体源。本发明还提供一种用于连续提供前驱体源的方法。本发明提供的装置结构简单，便于维护和使用；前驱体源可以连续不断地进到反应腔，应用该装置的ALD、CVD等气相沉积设备可以实现连续生产，产能高，满足气相设备大规模工业化连续生产的要求。

主权项

1.一种用于连续提供前驱体源的装置，其特征在于，包括：一与反应腔连接的第一源瓶，所述第一源瓶至少一个；与所述第一源瓶连接的第二源瓶，所述第二源瓶至少一个；所述第一源瓶中盛装有前驱体源，所述第二源瓶中盛装的前驱体源用于提供给所述第一源瓶，以使所述第一源瓶连续地往所述反应腔内输送前驱体源。