[发明专利]一种抗疲劳高熵合金薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201910429868.6 | 申请日： | 2019-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN110129731B | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 王泽;姚远远;彭涛;仇建国;吴建珍;杨桂东;闫辰侃;李小平;卢雅琳;雷卫宁;孙志娟;叶霞 | 申请（专利权）人： | 江苏理工学院 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/35;C23C14/58;C22C30/00 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 王巍巍 |
| 地址： | 213001 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明利用磁控溅射法制备高熵合金薄膜，然后将其进行液氮深冷处理10次以上得到抗疲劳CoCrFeMnNi高熵合金薄膜；本发明方法制备的CoCrFeMnNi高熵合金薄膜在液氮深冷处理10次以上后其硬度和弹性模量基本不变，硬度为9～9.5GPa，弹性模量为150～155GPa；而疲劳周次可以在原有疲劳寿命的基础上再提高约2～10倍，本发明方法操作简单，成本低廉并能有效提高高熵合金薄膜疲劳性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 疲劳 合金 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种抗疲劳CoCrFeMnNi高熵合金薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)靶材准备：以等原子比的Co20Cr20Fe20Mn20Ni20合金作为靶材；(2)基体准备：将基体抛光后除杂去污，将基体固定后送入进样室，抽真空以去除基体表面残留的水膜；(3)预溅射：在溅射腔内清理靶材表面的杂质和氧化物，预溅射过程中通过目镜不断观察电浆的颜色；(4)传送基体：预溅射完成后升起进样室和溅射腔之间的闸门，将进样室的基体通过传送杆送入溅射腔内，抽出传送杆降落闸门；(5)溅射腔内抽真空使真空度≤2.5×10‑6Pa后，通入氩气，设置溅射条件为氩气流量15～25sccm，工作气压为0.2～0.5Pa，基体转速为50～100r/min，沉积距离10cm，功率为100～200W，沉积时间30～90min；(6)打开靶材的挡板再开启电浆，开始溅射；(7)溅射结束后关闭电浆、氩气和工作气压，保持真空条件下随溅射腔内温度冷却至室温后，取出得到CoCrFeMnNi高熵合金薄膜；(8)液氮深冷处理10次以上，即得到抗疲劳CoCrFeMnNi高熵合金薄膜。
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