[发明专利]一种干涉波前检测中剔除平面反射镜引入的系统误差的方法在审
| 申请号： | 201910432045.9 | 申请日： | 2019-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN110082074A | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 罗倩;吴时彬;汪利华;杨伟;范斌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种干涉波前检测中剔除平面反射镜引入的系统误差的方法。首先，干涉仪发出平面波检测平面反射镜波前1。其次，采用干涉自准直法，干涉仪发出的光束经被检光学件，平面镜自准直回干涉仪形成干涉，得到整个光学系统波前2。最后，分别用Zernike多项式拟合波前1和波前2，计算出波前1和2的Zernike系数。将波前2和波前1的对应系数之差在波前2的坐标上重构出波前，即为剔除平面反射镜引入的系统误差后被测件波前。本发明解决了干涉仪波前检测中平面镜引入的系统误差问题。 | ||
| 搜索关键词： | 平面反射镜 系统误差 干涉仪 剔除 干涉 引入 检测 平面镜 自准直 整个光学系统 被测件 光学件 平面波 拟合 重构 | ||
【主权项】：
1.一种干涉波前检测中剔除平面反射镜引入的系统误差的方法，其特征在于，它按以下步骤实现：步骤一，干涉仪发出平面波检测平面反射镜波前1；步骤二，采用干涉自准直法，即在被检光学系统焦点放置干涉仪，干涉仪发出的光束经被检光学件，平面镜自准直回干涉仪形成干涉，得到整个光学系统波前2；步骤三，分别用Zernike多项式拟合波前1和波前2，利用最小二乘法计算出波前1和2的Zernike系数；步骤四，将波前2的Zernike系数减去波前1的对应Zernike系数；步骤五，上一步骤中相减的差在波前2的坐标上重构出波前，即为剔除平面反射镜引入的系统误差后被测件波前。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院光电技术研究所，未经中国科学院光电技术研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910432045.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
