[发明专利]研磨样品的制作工艺、研磨样品及制作研磨样品的辅材有效
| 申请号： | 201910433584.4 | 申请日： | 2019-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN110142650B | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 陈冠毅 | 申请（专利权）人： | 业成科技（成都）有限公司;业成光电（深圳）有限公司;英特盛科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B37/00;B24B37/27;B24B37/34;G01N1/28 |
| 代理公司： | 成都希盛知识产权代理有限公司 51226 | 代理人： | 杨冬梅;张行知 |
| 地址： | 611730 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种研磨样品的制作工艺、研磨样品及制作研磨样品的辅材。其中，研磨样品的制作工艺包括以下步骤：将样品与辅材连接在一起形成镶埋组件，所述辅材用于指示所述样品的待观察区域；将镶埋组件镶埋在固化液中，并固化所述固化液形成研磨样品。本发明提供的研磨样品的制作工艺，通过辅材对样品的待观察区域进行标识，使得人们可以更大致判断出待观察区域的位置，从而在后续的研磨操作中，有效避免出现研磨过量的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 样品 制作 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种研磨样品的制作工艺，其特征在于，包括以下步骤：将样品与辅材连接在一起形成镶埋组件，所述辅材用于指示所述样品的待观察区域；将镶埋组件镶埋在固化液中，并固化所述固化液形成研磨样品。
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