[发明专利]一种基于快速扫描的激光光束匀光整形消散斑装置及方法在审
| 申请号： | 201910434235.4 | 申请日： | 2019-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN110187511A | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 匡翠方;杨欣;李海峰;徐良;罗锦涛;刘旭 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G02B27/48 | 分类号： | G02B27/48;G02B26/10;G02B27/09 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 310013 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于快速扫描的激光光束匀光整形消散斑装置及方法，属于显微技术领域，包括光源、MEMS微镜、方棒或者方形光纤、MEMS微镜驱动控制器和计算机；MEMS微镜使光源发出的激光光束在方棒或者方形光纤的入射端面进行扫描；方棒或者方形光纤接受其入射端面的光束并发生全反射，最后将光束从方棒或者方形光纤的出射端面射出；计算机用于产生MEMS控制信号送于MEMS微镜驱动控制器。使用快速扫描设备MEMS微镜，使激光在小范围内快速扫描，使多个不相干的衍射场在视觉积分时间内高速叠加，从而降低相干性和消除散斑；扫描光束通过方棒或者方形光纤匀光，使光束的均匀度提升。解决了激光相干性好而导致形成干涉和衍射造成散斑的问题和激光强度不均匀的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 方形光纤 方棒 快速扫描 激光光束 匀光整形消散斑装置 驱动控制器 散斑 光源 激光 激光相干性 出射端面 控制信号 入射端面 扫描光束 显微技术 不均匀 均匀度 入射端 相干性 衍射场 计算机 射出 衍射 匀光 反射 叠加 并发 扫描 视觉 干涉 | ||
【主权项】：
1.一种基于快速扫描的激光光束匀光整形消散斑装置，其特征在于：包括光源、MEMS微镜、方棒或者方形光纤、MEMS微镜驱动控制器和计算机；所述MEMS微镜使所述光源发出的激光光束在所述方棒或者方形光纤的入射端面进行扫描；所述方棒或者方形光纤接受其入射端面的光束并发生全反射，最后将光束从方棒或者方形光纤的出射端面射出；所述计算机用于产生MEMS控制信号送于MEMS微镜驱动控制器。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江大学，未经浙江大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910434235.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
